紫外線照射裝置SUN ENERGY 紫外臭氧清洗儀

紫外線照射裝置SUN ENERGY 紫外臭氧清洗儀

SKM系列機(jī)器人將工件
從供料區(qū)運(yùn)送到存儲區(qū)。

| 獨(dú)立式機(jī)器人運(yùn)輸型 | 用于大規(guī)模生產(chǎn) |
 

這是一款適用于大規(guī)模生產(chǎn)的獨(dú)立式機(jī)器人運(yùn)輸設(shè)備，可根據(jù)您的需求進(jìn)行定制。

根據(jù)您的需求定制

這套紫外線照射設(shè)備配備了機(jī)械臂清洗機(jī)器人。它可以自動對尺寸達(dá) 12 英寸的晶圓執(zhí)行一系列操作，包括供料→運(yùn)輸→紫外線處理→存儲。

追求舒適的操作體驗

配備用于晶圓轉(zhuǎn)移的理想機(jī)械臂清洗機(jī)器人，能夠以高速、
高精度。此外，我們還提供多種高精度轉(zhuǎn)移設(shè)備，可處理除晶圓以外的其他工件。
 
機(jī)械臂

支持最大 300 毫米（12 英寸）的晶圓

我們可以制造適用于最大尺寸為 300 毫米（12 英寸）的設(shè)備。
我們還可以根據(jù)玻璃基板等非晶圓材料的形狀和尺寸，為其推薦最佳的紫外線照射設(shè)備。
 
晶圓

采用紫外照度測量模式可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定處理

紫外燈的輻照度會隨時間推移而降低。紫外輻照度測量模式會在處理前自動測量輻照度，并根據(jù)測得的輻照度值自動計算和設(shè)置所需的照射時間。這確保了在恒定的紫外照射量下進(jìn)行穩(wěn)定的處理。

燈光設(shè)計技術(shù)

我們運(yùn)用光學(xué)設(shè)計技術(shù)計算紫外線照射量，優(yōu)化紫外線燈的布置，并將紫外線均勻分布在有效照射區(qū)域，從而實(shí)現(xiàn)高效、精準(zhǔn)的性能設(shè)計。我們
還可根據(jù)客戶需求，例如工件的加工溫度和所需的照明強(qiáng)度，提供優(yōu)化的紫外線照射設(shè)備。
 

使用起來更安全

這是一款安全的紫外線照射裝置，不會向外泄漏臭氧或紫外線。它
標(biāo)配聯(lián)鎖功能，當(dāng)燈亮著時，如果門打開，燈會自動關(guān)閉。

臭氧排氣風(fēng)機(jī)和軟管均為標(biāo)準(zhǔn)配置。

紫外線燈產(chǎn)生的臭氧可通過風(fēng)機(jī)排出，同時紫外線燈也需要冷卻。排出的臭氧應(yīng)排放到室外，或先用催化劑或其他方法分解后再排放。